萬級無塵室隔間分為三大部分，更衣室，千級區和百級區，更衣室與千級區， 千級區和百級區均設風淋室(airshower)， 無塵室與室外設有物品出入通道傳遞箱(passbox).當人員進入無塵室時，首先要經過風淋室，對人體所帶的灰塵吹淋，減少人員帶入無塵室的灰塵，傳遞箱則是對物品灰塵進行吹淋，達到落塵的效果。

       1.塵粒大允許數（每立方米）； 

　2.大或等于0.5微米的粒子數不得超過350000個，大或等于5微米的粒子數不得超過2000個；

　　3.微生物大允許數；
　　4.浮游菌數不得超過100個每立方米；
　　5.沉隆菌數不得超過3個每培養皿。
壓差：相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致，
對于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，
潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。
溫濕度：萬級潔凈室對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈工作服不產生舒服感為宜，溫度一 般控制在冬季20~22℃；夏季 24~26℃；波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30－50％， 夏季潔凈室濕度控制在50－70％。
配電：潔凈室（區）的主要生產用房一般照度值宜≥300Lx；輔助工作室、人員凈化和物料凈化用 室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。